Clean-Gard系列-半导体Clean制程用PP外壳的(PES)折叠过滤滤芯

迈博瑞Clean-Gard系列滤芯是一款应用于湿刻蚀和清洗工艺的经济高效过滤产品，可使用于稀酸、稀碱和其他工艺化学品过滤。PES膜具有高流量、高纳污能力、高过滤寿命等显著特点。此外，膜的结构使其能减少液体流动过程中气泡的形成。

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产品描述

迈博瑞Clean-Gard系列滤芯是一款应用于湿刻蚀和清洗工艺的经济高效过滤产品，可使用于稀酸、稀碱和其他工艺化学品过滤。PES膜具有高流量、高纳污能力、高过滤寿命等显著特点。此外，膜的结构使其能减少液体流动过程中气泡的形成。

产品特点

  • 高流速和长使用寿命

  • 低溶出

  • 缩短设备预操作时间

  • 洁净车间内生产包装

  • 100%滤芯完整性检测

典型应用

产品保证

工作特性

材 料 滤膜 聚醚砜
支撑层，外壳 聚丙烯
密封圈 EPDM/TEV
精度 10nm, 20nm, 30nm, 50nm, 0.1μm
膜面积 SX (φ68mm) 0.8 m²/10"
MX (φ81mm) 1.2m²/10"
MY (φ81mm) 1.8 m²/10"
最大使用条件 最大正向压差 0.5 MPa (72 psi) @ 25℃(77 °F)
0.25 MPa (36 psi) @ 70℃(158 °F)
最大反向压差 0.3 MPa (43 psi) @ 25℃(77 °F)
最高使用温度 70℃ (158 °F)
包装方式 干包装；超纯水预润湿包装

产品尺寸

产品尺寸

流量-压差曲线图

流量曲线图

订购信息

CGC

精度

直径

端盖

长度

密封圈

金属洁净度

包装方式

E (10nm)

A (20nm)

C (30nm)

G (50nm)

B (0.1μm)

SX (φ68mm,0.8m2 )

MX(φ81mm,1.2m2 )

MY(φ81mm,1.8m2 )

N(222 平头)

04 (4”)

10 (10”)

20 (20”)

P (三元乙丙)

T (特氟龙氟橡胶)

R（＜25ug/device）

E（Electronic）

D (干包装)

W (超纯水预润湿包装)

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