微电子行业滤芯

Clean-Nova系列-半导体Clean制程用HDPE外壳的(PES)折叠过滤滤芯

迈博瑞Clean-Nova系列滤芯是一款具有高流速,长使用寿命等特点,专为电子工业中稀酸,稀碱和超纯水过滤设计的产品。在室温环境下使用时,PES过滤器可以兼容各种湿法蚀刻和清洗溶液。

产品描述

迈博瑞Clean-Nova系列滤芯是一款具有高流速,长使用寿命等特点,专为电子工业中稀酸,稀碱和超纯水过滤设计的产品。在室温环境下使用时,PES过滤器可以兼容各种湿法蚀刻和清洗溶液。

产品特点

  • 优秀的流量性能和长使用寿命

  • 缩短设备预操作时间

  • 优秀的拦截效率

  • 极低的金属溶出

  • 100%滤芯完整性检测

典型应用

产品保证

工作特性

材 料 滤膜 聚醚砜
支撑层,外壳 HDPE
密封圈 筒式 EPDM/TEV
外壳 一体式 PFA
精度 5nm, 10nm, 20nm, 30nm, 50nm, 0.1μm
膜面积 SX (φ68mm) 0.8 m²/10
MX (φ81mm) 1.2 m²/10”
MY (φ81mm) 1.8 m²/10”
最大使用条件 最大正向压差 0.34 MPa (49 psi) @ 25 ℃ (77 °F)
0.3 MPa (43 psi) @ 40 ℃ (104 °F)
最大反向压差 0.3 MPa (43 psi) @ 25 ℃ (77 °F)
最高使用温度 40 ℃ (104 °F)
包装方式 干包装;超纯水预润湿包装

产品尺寸

产品尺寸

流量-压差曲线图

压差曲线

订购信息

CNC

精度

直径

端盖

长度

密封圈

金属洁净度

包装方式

F (5nm)

E (10nm)

A (20nm)

C (30nm)

G (50nm)

B (0.1μm)

SX (φ68mm,0.8m2 )

MX(φ81mm,1.2m2 )

MY(φ81mm,1.8m2 )

N(222 平头)

04 (4”)

10 (10”)

20 (20”)

P (三元乙丙)

T (特氟龙氟橡胶)

U(<3ug/device)

Q(<10ug/device)

R(<25ug/device)

D (干包装)

W (超纯水预润湿包装)

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