CMPro-D系列 CMP专用高精度(PP)熔喷深层滤芯

"迈博瑞CMPro-D系列滤芯专为化学机械研磨（chemical mechanical polishing，CMP）过滤而设计。有效去除各种CMP slurry中的团聚颗粒或胶体，同时保留有效研磨颗粒，保持slurry粒径分布不变。该系列产品采用独特的专利复合结构，制备出孔径渐变的深层聚丙烯滤材。滤材外层（upstream）由连续的熔喷滤材构成，有利于最大化纳污容量，延长滤 芯使用寿命以及有效降低成本。滤材内层（down_x005f_x0002_stream）由纳米纤维膜卷绕而成，提供杰出的过滤效率，确保可靠的过滤效果。"

申请报价

产品描述

迈博瑞CMPro-D系列熔喷滤芯专为化学机械研磨（chemical mechanical polishing，CMP）过滤而设计。有效去除各种CMP slurry中的团聚颗粒或胶体，同时保留有效研磨颗粒，保持slurry粒径分布不变。该系列产品采用独特的专利复合结构，制备出孔径渐变的深层聚丙烯滤材。滤材外层（upstream）由连续的熔喷滤材构成，有利于最大化纳污容量，延长滤芯使用寿命以及有效降低成本。滤材内层（down-stream）由纳米纤维膜卷绕而成，提供杰出的过滤效率，确保可靠的过滤效果。

产品特点

  • 大梯度的分级结构设计，确保滤芯的过滤效率并最大化使用寿命

  • 超细纤维结构有效拦截造成划伤的大颗粒，同时保留所需研磨颗粒

  • 更长的使用寿命有助于降低成本

  • 纯PP材质，不使用表面活性剂和粘结剂，确保低析出

典型应用

产品保证

工作特性

材 料 过滤层/支撑层 聚丙烯
中心杆/端盖 聚丙烯
密封圈 EPDM
- -
精度 70nm, 0.1μm, 0.2μm, 0.3μm, 0.5μm, 0.7μm, 1.0μm
尺寸规格 外径 69mm
长度 10inch, 20inch
最大使用条件 最大正向压差 0.52 MPa (75 psi) @ 25 ˚C (77 ˚F)
0.19 MPa (27 psi) @ 82 ˚C (179 ˚F)
最大反向压差 0.21 MPa (30 psi) @ 25 ˚C (77 ˚F)
最高使用温度 80 ˚C (176 ˚F)
包装方式 干包装；超纯水预润湿包装

产品尺寸

流量-压差曲线

订购信息

下载资料

相关产品：
10um聚丙烯（PP）熔喷滤芯 CMPro-D系列 CMP专用高精度(PP)熔喷深层滤芯 CMPro-M系列P-CMP专用高通量(PP)熔喷深层滤芯 MicroPure Classic系列-PP熔喷滤芯 MicroPure ®Coreless 系列- PP大胖款熔喷滤芯 Micropure Classic Series（Big Blue）系列-PP大胖款熔喷滤芯