产品描述
迈博瑞CMPro-M系列深层熔喷滤芯由复合结构的聚丙烯滤材制备而成，用于CMP slurry输送系统（SDS）的过滤。其独特的梯度设计使其能够很好地应对化学机械研磨（ chemical mechanical polishing，CMP）浆料过滤的挑战。锥形孔结构使CMPro-M在优秀的颗粒拦截效率和高纳污量之间实现了很好的平衡。它可以有效去除CMP slurry中具有破坏性的大颗粒，并且保持过滤前后有效颗粒粒径分布（PSD）保持不变。CMPro-M可满足多种不同的CMP应用场景，包括氧化物CMP，浅沟槽隔离CMP 和金属配线CMP等。
产品特点
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梯度过滤结构，确保滤芯的过滤效率
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锐利的效率曲线，显著提升尺寸过大颗粒的去除率，同时最大程度减少有效颗粒的去除
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优化使用寿命，降低成本
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制造过程中不添加表面活性剂和粘结剂，减少析出
典型应用
产品保证
工作特性
| 材 料 | 过滤层/支撑层 | 聚丙烯 |
| 中心杆/端盖 | 聚丙烯 | |
| 密封圈 | EPDM | |
| 精度 | 3.0μm, 5.0μm, 7.0μm, 9.0μm, 11.0μm | |
| 尺寸规格 | 外径 | 64mm |
| 长度 | 10inch, 20inch | |
| 最大使用条件 | 最大正向压差 | 0.52 MPa (75 psi) @ 25 ˚C (77 ˚F) |
| 0.19 MPa (27 psi) @ 82 ˚C (179 ˚F) | ||
| 最大反向压差 | 0.21 MPa (30 psi) @ 25 ˚C (77 ˚F) | |
| 最高使用温度 | 80 ˚C (176 ˚F) | |
产品尺寸
流量-压差曲线图
订购信息
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CMPM |
Removal Ratings |
端盖 |
直径 |
长度 |
密封圈 |
Cleanliness |
包装 |
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030(3.0μm) 050 (5.0μm) 070 (7.0μm) 090 (9.0μm) 110 (11.0μm) |
N(222 Flat) F(Double open-end gasket)
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6(直径=64mm) |
10 (10”) 20 (20”)
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P (EPDM) |
E（Electronic） |
D (Dry) W (UPW Prewet) |