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迈博瑞作为享誉全球的膜过滤产品供应商,是一个集研发、销售、生产于一体的美资独资企业,致力于提供过滤、分离、纯化过程中的各种产品和解决方案,生产和代理国内外多种相关产品,可为不同行业用户提供系统方案设计、成套设备制造、膜组件供应及过滤技术支持等服务

半导体湿制程过滤解决方案

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半导体制造业面临的最大挑战之一是硅晶片的表面污染。研究表明,沾污带来的缺陷引起的芯片电学失效,比例高达80%。假若在晶圆制造环节中有污染物未能完全清除,轻则影响晶圆良率,重则导致一整片乃至成批晶圆报废,因此,半导体清洗工艺是半导体制程中最关键的步骤之一。湿法工艺作为半导体工艺的重要组成部分,通过化学品(酸、碱、溶剂等)与超纯水等液体介质,对晶圆表面进行刻蚀、清洗等处理,见下图典型晶片清洗流程。

半导体Wet制程

迈博瑞的滤芯产品可以提供性能优异的过滤解决方案,有专为半导体湿制程应用中的SC1,SC2,49HF,HNO3,EKC, NMP等液体过滤打造,开发了很多适合于多种料液的应用滤芯,能够有效地去除半导体工业用高纯度化学品中的微粒,为提高半导体制程晶圆的良率保驾护航。

 

典型清洗槽工艺 (以SC1 为例)

典型清洗槽工艺

半导体湿制程过滤产品

制程工艺 迈博瑞推荐滤芯系列*
半导体湿制程过滤 Wet-Fluoride系列全氟滤芯 半导体Wet湿制程用全氟滤芯
Wet-Fluoride系列全氟滤芯囊式 半导体Wet湿制程用全氟囊式滤芯
Wet-Vast系列  半导体Wet湿制程用HDPE外壳的PTFE折叠过滤滤芯
Wet-Mega系列 半导体Wet湿制程用PP外壳的PTFE折叠过滤滤芯
Clean-Nova系列 半导体Clean制程用HDPE外壳的PES折叠过滤滤芯
Clean-Nova系列PES滤芯囊式 半导体Clean制程用囊式滤芯
Clean-Gard系列 半导体Clean制程用PP外壳的PES折叠过滤滤芯

*详细的技术解决方案和产品系列信息,请联系您身边的MS销售工程师

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