产品描述
不锈钢Mini系列专为超高纯度气体设计，双层PTFE膜，过滤精度可达0.003μm。内部采用全氟内芯，具有优秀的化学兼容性，使用各类半导体制程气体。
产品特点
- 316L电解抛光壳体，全氟内芯，高洁净，低析出；
- 100%完整性及氦检泄露检测
工作特性
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材质 |
滤膜 |
疏水PTFE |
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中心杆 |
PFA |
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密封圈 |
全氟醚 |
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壳体 |
电抛光316L或316L VAR |
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内表面处理 |
粗糙度 |
≤0.13μm |
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表面化学 |
316壳体：Cr Fe>1 |
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316VAR壳体：Cr Fe>1.5 |
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过滤精度 |
≥0.003μm |
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颗粒拦截效率 |
>99.9999999(9LRV)@30slpm |
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推荐工作流量 |
0-60slpm |
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接口形式 |
1/4 VCR，1/4 SWG |
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氦气泄漏检验 |
设计验证 |
2×10-11atm.cm3 /sec |
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过程验证 |
1×10-9atm.cm3 /sec |
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操作条件 |
最高工作压力 |
20.7MPa@121℃ |
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最高工作正向压差 |
0.4MPa@23℃ |
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最高工作反向压差 |
0.07MPa@23℃ |
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最高工作温度 |
120℃ |
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下游洁净度 |
颗粒物 |
＜0.03ea/L（＞0.01μm的颗粒物） |
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挥发物 |
＜10ppb |
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流量性能
