Photo-Novel系列-专为光刻胶,有机溶剂等工艺中的尼龙(Nylon)折叠滤芯

迈博瑞Photo-Unix系列UPE滤芯具有非常宽的精度选择范围,从2nm到0.2μm。筒式滤芯具有优秀的过滤效率,洁净度以及化学耐受性以应对不同的SEMI光刻工艺应用。

产品描述

迈博瑞Photo-Novel系列Nylon滤芯具有高流速,高拦截效率和高有机洁净度等性。它是一款专为光刻胶,有机溶剂等SEMI光刻工艺中的过滤而设计的产品。

在Photo-Novel系列中使用的Nylon膜是天然的亲水尼龙材料。其本身具备低金属析出和低颗粒脱落性能,并且在有机溶剂中的有机物溶出量非常低

产品特点

  • 高过滤效率
  • 天然亲水性能
  • 优秀的有机溶出洁净度
  • 在洁净车间中生产完成
  • 100%滤芯完整性检测

典型应用

产品保证

工作特性

材 料 滤膜 Nylon 66
支撑层,外壳 HDPE/PP
密封圈 EPDM/TEV
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精度 2nm, 5nm, 10nm, 20nm, 30nm, 50nm, 0.1μm
膜面积 SX (φ68mm) 0.8 m²/10"
SY (φ68mm) 0.3/m²/10"
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最大使用条件 最大正向压差 0.34 MPa (49 psi) @ 25℃ (77 °F)
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最大反向压差 0.24 MPa (34 psi) @ 25℃ (77 °F)
最高使用温度 40℃ (104 °F)
包装方式 干包装;超纯水预润湿包装

产品尺寸

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流量-压差曲线图

压差

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