PoliCap终端(POU)紧凑型 CMP囊式滤芯

纯PP材质、结构紧凑和抛弃式的特点使其具备低成本、方便更换的优点。内部可装载卷绕或折叠滤芯,可依据过滤场景进行选择。多接口的选择及囊式的便捷更换设计,广泛应用于各行业的低流量点位,如半导体CMP工艺,MLCC浆料过滤,墨水等行业。

产品描述

纯PP材质、结构紧凑和抛弃式的特点使其具备低成本、方便更换的优点。内部可装载卷绕或折叠滤芯,可依据过滤场景进行选择。多接口的选择及囊式的便捷更换设计,广泛应用于各行业的低流量点位,如半导体CMP工艺,MLCC浆料过滤,墨水等行业。

产品特点

  • 纯PP材质,降低成本
  • 热熔焊接,无密封圈
  • 抛弃式设计,方便更换并减少slurry暴露
  • 可选长度和直径,满足不同安装需求
  • 可用深层或膜折叠滤材,满足多种应用需求
  • 低压损和优秀的颗粒去除效率

典型应用

  • MLCC浆料过滤

工作特性

过滤层/支撑层

聚丙烯

外壳/中心杆/端盖

聚丙烯

精度

深层形式:0.1μm, 0.2μm, 0.3μm, 0.5μm, 0.7μm, 1.0μm, 3.0μm

接口形式

进出口

3/8" Flaretek11/4" Flaretek11/4" NPT

排气/排液口

1/4" Flaretek1 1/8" NPT

尺寸规格

外径

70mm

滤芯直径

56mm

长度

2.5inch,5inch

最大使用条件

最大使用压力

0.5 MPa (73 psi) @ 25 ˚C (77 ˚F)

最大正向压差

0.5 MPa (75 psi) @ 25 ˚C (77 ˚F)

0.19 MPa (27 psi) @ 82˚C (179 ˚F)

最高使用温度

80 ˚C (176˚F)

1 Flaretek是Entegris公司的商标。

流量-压差曲线

PoliCap终端(POU)紧凑型流量-压差曲线图