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产品描述
迈博瑞PoliCap-Plus系列是专为先进的CMP应用设计的囊式滤芯，尤其适用于含胶体SiO2、CeO2和超细Al2O3 研磨剂的CMP slurry。结构上来说，便捷的抛弃式设计可以实现快速安装，尽可能地减少slurry暴露和浪费。PoliCap-Plus系列囊式滤芯可配合多种不同接口使用，满足不同应用需求。
产品特点
- 纯PP材质，降低成本
- 抛弃式设计，方便更换并减少slurry暴露
- 低滞留体积，减少slurry浪费并防止其沉积
- 提供多种接口选择
- 低压损和优秀的颗粒去除效率
- 高纳污量，较长的使用寿命
工作特性
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材料 |
过滤层/支撑层 |
聚丙烯 |
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外壳/中心杆/端盖 |
聚丙烯 |
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密封圈 |
三元乙丙橡胶 |
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精度 |
0.05μm, 0.07μm, 0.1μm, 0.2μm, 0.3μm, 0.5μm, 0.7μm, 1.0μm, 3.0μm |
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接口形式 |
进出口 |
3/8" Flaretek1， Easy-touch |
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排气/排液口 |
/ |
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尺寸规格 |
外径 |
93mm |
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滤芯直径 |
68mm |
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长度 |
5inch |
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最大使用条件 |
最大使用压力 |
0.34 MPa (50 psi) @ 25 ˚C (77 ˚F) |
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最高使用温度 |
80 ˚C (176˚F) |
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流量-压差曲线
