slurry过滤囊式滤芯.jpg)
产品描述
迈博瑞PoliCap-Plus系列是专为先进的CMP应用设计的 囊式滤芯，尤其适用于含胶体SiO2、CeO2和超细Al2O3 研磨剂的CMP slurry。结构上来说，便捷的抛弃式设计 可以实现快速安装，尽可能地减少slurry暴露和浪费。 PoliCap-Plus系列囊式滤芯可配合多种不同接口使用， 满足不同应用需求 。
产品特点
纯PP材质，降低成本
抛弃式设计，方便更换并减少slurry暴露
低滞留体积，减少slurry浪费并防止其沉积
提供多种接口选择
低压损和优秀的颗粒去除效率
高纳污量，较长的使用寿命
典型应用
产品保证
工作特性
| 材 料 | 过滤层/支撑层 | 聚丙烯 |
| 外壳/中心杆/端盖 | 聚丙烯 | |
| 密封圈 | EPDM | |
| - | - | |
| 精度 | 70nm, 0.1μm, 0.2μm, 0.3μm, 0.5μm, 0.7μm, 1.0μm | |
| 接口形式 | 进出口 | 3/8” Flaretek1 |
| Easy-touch | ||
| 排气/排液口 | - | |
| - | ||
| 尺寸规格 | 外径 | 93mm |
| 滤芯直径 | 69mm | |
| 长度 | 5inch | |
| 最大使用压力 | 0.34 MPa (50 psi) @ 25 ˚C (77 ˚F) | |
| 最大使用条件 | 最大正向压差 | 0.24 MPa (35 psi) @ 21 ˚C (70 ˚F) |
| 0.40 MPa (58 psi) @ 82 ˚C (176 ˚F) | ||
| 最大反向压差 | 0.21 MPa (30 psi) @ 25 ˚C (77 ˚F) | |
| 最高使用温度 | 80 ˚C (176˚F) | |
产品尺寸
slurry过滤囊式滤芯-CMP终端用囊式滤芯.png)
流量-压差曲线图
slurry过滤囊式滤芯-CMP终端用囊式滤芯2.png)
订购信息
