电子化学品过滤解决方案
微电子行业应用的超净高纯试剂,国际上通称工艺化学品(process chemicals),美国、欧洲和我国台湾地区称为湿化学品(wetchemicals),是电子技术微细加工制作过程中不可缺少的化工材料之一。用于芯片的清洗和蚀刻,其洁净度和纯度对集成电路的成品率、电性能及可靠性影响重大,主要控制试剂中颗粒和离子的含量。迈博瑞使用先进的设备工艺,对过滤产品进行严格的洁净度的管控,低析出,低金属离子产品,为半导体行业的稳定、安全、可靠生产提供了帮助。
电子化学品过滤产品
制程工艺 | 迈博瑞推荐滤芯系列* |
特殊化学品过滤 | FluorPure-EV类全氟(FEV 系列)PVDF 外壳的疏水全氟滤芯 |
AfsPure全氟折叠(ACG 系列/AFG系列)超强化学兼容性的 PFA 全氟滤芯 | |
UltiPure 小胖全氟滤芯(Ø83 AF系列)高流速、高清洁度的全氟滤芯 | |
Wet-Fluoride系列全氟滤芯 半导体用全氟滤芯 | |
Wet-Fluoride系列全氟滤芯囊式 半导体用全氟囊式滤芯 | |
Wet-Vast系列 半导体用HDPE外壳的PTFE折叠过滤滤芯 | |
Wet-Mega系列 半导体用PP外壳的PTFE折叠过滤滤芯 |
*详细的技术解决方案和产品系列信息,请联系您身边的MS销售工程师