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迈博瑞作为享誉全球的膜过滤产品供应商,是一个集研发、销售、生产于一体的美资独资企业,致力于提供过滤、分离、纯化过程中的各种产品和解决方案,生产和代理国内外多种相关产品,可为不同行业用户提供系统方案设计、成套设备制造、膜组件供应及过滤技术支持等服务

半导体Wet制程 过滤解决方案

 

平板显示主要技术包括∶液晶显示(LCD,一般又分为TN/STN/TFT三种类型)、等离子显示(PDP)、有机发光二极管显示(OLED)、场发射显示器。其中TFT-LCD是目前主流的平面显示器,其工艺制程较为成熟,以TFT-LCD全制程为例,又细分为:阵列(Array)工艺、彩膜(CF)工艺、成盒(Cell)工艺、模组(Module)工艺。在平板显示制造过程中,过滤技术主要体现在阵列(Array)工艺、彩膜(CF)工艺、成盒(Cell)工艺中,尤其以阵列(Array)工艺过滤最为重要,对整个制程起着关键的作用。所以在平板显示制造过程中,尤其针对高世代线,过滤产品的问题直接会造成大批量的报废和损失。


在平板显示这块主要的过滤方案有
1.纯水、超纯化学品过滤解决方案:适用于面板TFT-LCD、LTPS、OLED等工艺蚀刻液、剥离液、显影液、清洗剂等多种湿制程化学品过滤,有机溶剂、酸、碱等电子化学品以及水过滤、基板清洗过滤等应用。
2.湿制程工艺大流量过滤解决方案:适用于面板TFT-LCD、LTPS、OLED等工艺湿制程高流量(Ø83系列)、高世代线G7、G8.5、G10、G10.5等用超高流量(Ø130系列)过滤应用。
3.高纯气体过滤解决方案:适用于惰性气体、大宗气体、特殊气体等过滤应用。
4.水处理过滤解决方案: 适用于厂务水过滤、大流量蚀刻液过滤应用

液晶面板LCD制程常见工艺流程图:

液晶面板LCD制程常见工艺流程图

迈博瑞针对各段工艺的要求能够提供稳定可靠的产品,分析解决各制程问题,帮助客户解决过滤相关的问题。

查看半导体Wet制程过滤产品

制程工艺 迈博瑞推荐滤芯系列*
纯水、超纯化学品过滤 FluorPure-EV类全氟(FEV 系列)PVDF 外壳的疏水全氟滤芯
AfsPure全氟折叠(ACG 系列/AFG系列)超强化学兼容性的 PFA 全氟滤芯
UltiPure 小胖全氟滤芯(Ø83 AF系列)高流速、高清洁度的全氟滤芯
PolyPure-AB系列(PPA系列)高截留效率的聚丙烯折叠滤芯
FluorPure-G 系列(FG系列)极强化学耐受能力的疏水聚四氟乙烯膜折叠滤芯
FluorPure-L 系列(FL系列)高流速、强化学耐受性的亲水聚四氟乙烯膜折叠滤芯
SP系列 高流速、长使用寿命的聚醚砜膜折叠滤芯
湿制程工艺大流量过滤 Ø83/Ø130 PPC系列  面板湿制程用高通量、高流速的聚丙烯折叠滤芯
Ø83/Ø130 PPD系列  面板湿制程用高纳污量的聚丙烯膜折叠滤芯
Ø83/Ø130 PF系列 面板湿制程用高纳污量的聚醚砜膜折叠滤芯
Ø83/Ø130 CF系列  面板湿制程用高纳污量的疏水聚四氟乙烯膜折叠滤芯
Ø83/Ø130 CL系列  面板湿制程用高纳污量的亲水聚四氟乙烯膜折叠滤芯
高纯气体过滤 FBG系列 高效率气体过滤疏水PTFE膜滤芯
GP系列 制程特殊气体过滤全氟滤芯
水处理过滤 MicroPure Classic 系列 PP熔喷滤芯
AquaPure 系列 线绕滤芯
MS_600 FlowPure-HF 大流量折叠滤芯
MS_PlatPure  大流量折叠滤芯
MS_CrossPure  大流量折叠滤芯

*详细的技术解决方案和产品系列信息,请联系您身边的MS销售工程师 

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