平板显示制程过滤解决方案
平板显示主要技术包括∶液晶显示(LCD,一般又分为TN/STN/TFT三种类型)、等离子显示(PDP)、有机发光二极管显示(OLED)、场发射显示器。其中TFT-LCD是目前主流的平面显示器,其工艺制程较为成熟,以TFT-LCD全制程为例,又细分为:阵列(Array)工艺、彩膜(CF)工艺、成盒(Cell)工艺、模组(Module)工艺。在平板显示制造过程中,过滤技术主要体现在阵列(Array)工艺、彩膜(CF)工艺、成盒(Cell)工艺中,尤其以阵列(Array)工艺过滤最为重要,对整个制程起着关键的作用。所以在平板显示制造过程中,尤其针对高世代线,过滤产品的问题直接会造成大批量的报废和损失。
平板显示制程主要过滤方案
- 纯水、超纯化学品过滤解决方案:适用于面板TFT-LCD、LTPS、OLED等工艺蚀刻液、剥离液、显影液、清洗剂等多种湿制程化学品过滤,有机溶剂、酸、碱等电子化学品以及水过滤、基板清洗过滤等应用。
- 湿制程工艺大流量过滤解决方案:适用于面板TFT-LCD、LTPS、OLED等工艺湿制程高流量(Ø83系列)、高世代线G7、G8.5、G10、G10.5等用超高流量(Ø130系列)过滤应用。
- 高纯气体过滤解决方案:适用于惰性气体、大宗气体、特殊气体等过滤应用。
- 水处理过滤解决方案: 适用于厂务水过滤、大流量蚀刻液过滤应用
液晶面板LCD制程常见工艺流程图
迈博瑞针对各段工艺的要求能够提供稳定可靠的产品,分析解决各制程问题,帮助客户解决过滤相关的问题。
查看半导体Wet制程过滤产品
制程工艺 | 迈博瑞推荐滤芯系列* |
纯水、超纯化学品过滤 | FluorPure-EV类全氟(FEV 系列)PVDF 外壳的疏水全氟滤芯 |
AfsPure全氟折叠(ACG 系列/AFG系列)超强化学兼容性的 PFA 全氟滤芯 | |
UltiPure 小胖全氟滤芯(Ø83 AF系列)高流速、高清洁度的全氟滤芯 | |
PolyPure-AB系列(PPA系列)高截留效率的聚丙烯折叠滤芯 | |
FluorPure-G 系列(FG系列)极强化学耐受能力的疏水聚四氟乙烯膜折叠滤芯 | |
FluorPure-L 系列(FL系列)高流速、强化学耐受性的亲水聚四氟乙烯膜折叠滤芯 | |
SP系列 高流速、长使用寿命的聚醚砜膜折叠滤芯 | |
湿制程工艺大流量过滤 | Ø83/Ø130 PPC系列 面板湿制程用高通量、高流速的聚丙烯折叠滤芯 |
Ø83/Ø130 PPD系列 面板湿制程用高纳污量的聚丙烯膜折叠滤芯 | |
Ø83/Ø130 PF系列 面板湿制程用高纳污量的聚醚砜膜折叠滤芯 | |
Ø83/Ø130 CF系列 面板湿制程用高纳污量的疏水聚四氟乙烯膜折叠滤芯 | |
Ø83/Ø130 CL系列 面板湿制程用高纳污量的亲水聚四氟乙烯膜折叠滤芯 | |
高纯气体过滤 | FBG系列 高效率气体过滤疏水PTFE膜滤芯 |
GP系列 制程特殊气体过滤全氟滤芯 | |
水处理过滤 | MicroPure Classic 系列 PP熔喷滤芯 |
AquaPure 系列 线绕滤芯 | |
MS_600 FlowPure-HF 大流量折叠滤芯 | |
MS_PlatPure 大流量折叠滤芯 | |
MS_CrossPure 大流量折叠滤芯 |
*详细的技术解决方案和产品系列信息,请联系您身边的MS销售工程师