产品描述
迈博瑞Wet-Fluoride系列滤芯为全氟结构的滤芯。这一系列的滤芯采用了高流速的PTFE膜，专为半导体Wet应用中的SC1，SC2，49HF，HNO3，EKC，NMP等液体过滤打造。
优良的滤芯设计，确保在使用时压降低的同时兼具有较好的颗粒去除效果。全氟的材料保证了滤芯具有极低的溶出物或者其他可能对工艺造成污染的成分，同时在使用过程中提供了非常良好的过滤效果。
产品特点
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优秀的流量和更长使用寿命
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优秀的化学和温度耐受性能
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全氟结构和极低的溶出性能
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便捷的预湿选项
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100%滤芯完整性检测
典型应用
产品保证
工作特性
| 材料 |
滤膜 |
PTFE |
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支撑层，外壳 |
PFA |
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筒式密封圈 |
TEV/FFKM |
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一体式外壳 |
PFA |
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| 精度 |
10nm, 20nm, 30nm, 50nm, 0.1μm, 0.2μm |
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| 膜面积 |
SX (φ68mm) |
1.2 m2/10” |
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MX (φ81mm) |
1.8 m2/10” |
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MY (φ81mm) |
2.2 m2/10” |
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MZ (φ81mm) |
2.8 m2/10” |
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| 最大使用条件 |
最大正向压差 |
0.5 MPa (72 psi) @ 25 ℃ (77 °F) |
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0.2 MPa (29 psi) @ 100 ℃ (212 °F) |
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最大反向压差 |
0.35 MPa (50 psi) @ 25 ℃ (77 °F) |
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最高使用温度 |
筒式 100 ℃ (212 °F) |
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一体式 180 ℃ (356 °F) |
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| 包装方式 | 干包装；超纯水预润湿包装 | |
产品尺寸
流量-压差曲线
订购信息
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WFC |
精度 |
直径 |
端盖 |
长度 |
密封圈 |
金属洁净度 |
包装方式 |
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E (10nm) A (20nm) C (30nm) G (50nm) B (0.1μm) J（0.2μm） |
SX（φ68mm,0.9m2） MX（φ81mm,1.8m2） MY（φ81mm,2.2m2） MZ（φ81mm,2.8m2） |
N（222 平头） K（222 Plat with Lock-key） |
04 (4”) 10 (10”) 20 (20”) |
T (TEV) K（FFKM） |
U（＜3ug/device） Q（＜10ug/device） R（＜25ug/device） E（Electronic） |
D (干包装) W (超纯水预润湿包装) |