半导体Wet湿制程用滤芯

Wet-Mega系列 PTFE膜滤芯

迈博瑞Wet-Mega系列滤芯是以PTFE膜作为过滤层,配置高纯PP支撑层和塑料件,具有极低的溶出和颗粒脱落风险,化学耐受性好,流速高使用寿命长,并可提供预湿包装,适用于与PP相容性好的电子化学品试剂的过滤,降低更换频率,降低使用更换成本。

产品描述

迈博瑞Wet-Mega系列滤芯是以PTFE膜作为过滤层,配置高纯PP支撑层和塑料件,具有极低的溶出和颗粒脱落风险,化学耐受性好,流速高使用寿命长,并可提供预湿包装,适用于与PP相容性好的电子化学品试剂的过滤,降低更换频率,降低使用更换成本。

产品特点

  • 优秀的流量性能和更长的使用寿命

  • 优良的化学品和温度耐受性

  • 低溶出性

  • 便捷的预湿选项

  • 100%滤芯完整性检测100

工作特性

材料

滤膜

PTFE

支撑层,外壳

PP

密封圈

EPDM/TEV

精度

20nm, 30nm, 50nm, 0.1μm, 0.2μm, 0.45μm, 1.0μm

膜面积

SX (φ68mm)  0.9㎡/10”

MF (φ83mm)  1.3㎡/10”

MX (φ83mm)  1.8㎡/10” 

最大使用条件

最大正向压差

0.52MPa (85.4psi)@ 25 (77℉)

0.2MPa (29psi)@ 70℃ (158℉)

最大反向压差

0.21MPa (31psi)@ 25 (77℉)

最高使用温度

70  (158 °F)

包装方式

干包装;超纯水预润湿包装

流量-压差曲线

流量压差