Wet-Vast系列-半导体Wet湿制程用HDPE外壳的(PTFE)折叠过滤滤芯

Wet-Vast系列滤芯采用了PTFE滤膜搭配HDPE支撑材料。PTFE和HDPE材料均具有良好的化学兼容性,使其可以适合于多种药液的应用,能够有效地去除半导体工业用高纯度化学品中的微粒。有多种精度和孔径的滤芯方案可供选择,以满足客户的要求。

产品描述

Wet-Vast系列滤芯采用了PTFE滤膜搭配HDPE支撑材料。PTFE和HDPE材料均具有良好的化学兼容性,使其可以适合于多种药液的应用,能够有效地去除半导体工业用高纯度化学品中的微粒。有多种精度和孔径的滤芯方案可供选择,以满足客户的要求。

产品特点

  • 湿刻蚀和清洗

  • 适合是多种类的化学品过滤

  • 高流速,低压差,更长使用寿命

  • 便捷的预湿选项

  • 100%滤芯完整性检测

典型应用

产品保证

工作特性

材 料 滤膜 PTFE
支撑层,外壳 HDPE
密封圈 EPDM/TEV
精度 20nm, 30nm, 50nm, 0.1μm, 0.2μm
膜面积 SX (φ68mm) 1.2 m2/10”
MX (φ81mm) 1.8 m2/10”
MY (φ81mm) 2.2 m2/10”
MZ (φ81mm) 2.8 m2/10”
最大使用条件 最大正向压差 0.4 MPa (58 psi) @ 25℃ (77 °F)
最大反向压差 0.3 MPa (43 psi) @ 25℃ (77 °F)
最高使用温度 40℃ (104 °F)
包装方式 干包装;超纯水预润湿包装

产品尺寸

产品尺寸

流量-压差曲线

压差曲线

订购信息

WVC

精度

直径

端盖

长度

密封圈

金属洁净度

包装方式

 

A (20nm)

C (30nm)

G (50nm)

B (0.1μm)

J(0.2μm)

SX(φ68mm,0.9m2

MX(φ81mm,1.8m2

MY(φ81mm,2.2m2

MZ(φ81mm,2.8m2

N(222 平头)

04 (4”)

10 (10”)

20 (20”)

P(EPDM)

T (TEV)

Q(<10ug/device)

R(<25ug/device)

E(Electronic)

D (干包装)

W (超纯水预润湿包装)

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